一、功能分區 & 潔凈等級規劃

按照工藝流程潔凈梯度遞減布局，空氣由高潔凈區流向低潔凈區

1. 光刻區：背景 ISO?5 (百級)，設備內部局部層流 ISO?4，獨立密閉房間、黃光環境，垂直層流 FFU 送風，最高正壓區

2. 精密鍵合 / 貼合區：ISO?6（千級），芯片對位、封合作業

3. 普通封裝組裝區：ISO?7（萬級）

4. 探針精密測試區：ISO?7；成品常規測試、包裝區 ISO?8（十萬級）

5. 輔助緩沖區：物料拆包、更衣、設備維修、化學品暫存 ISO?8

相鄰不同潔凈等級房間之間設置雙門互鎖緩沖氣閘，嚴禁房間直接開門互通

二、平面動線布局要點

1、四流分離：人流、物流、工藝流、廢物流獨立通道，無交叉折返- 人流：普通區→一更→緩沖→風淋→二更泄壓廊道→潔凈氣閘→生產區；風淋出口不能直對潔凈大門，預留緩沖空間消化高速氣流擾動，廊道獨立回風，不從生產區取回風- 物料：外暫存→外包裝拆除→貨淋 / 物料緩沖→潔凈暫存→工藝區- 工藝流：光刻→封裝→測試單向流轉- 廢物流：密閉收集→負壓廢棄物緩沖→專用通道出廠區，不得穿越高潔凈工藝區2、壓差梯度：光刻區＞封裝區＞測試區＞外圍輔助區，相鄰潔凈房間壓差≥5Pa

三、圍護裝修工程標準

1、墻體吊頂：A 級防火防靜電玻鎂凈化板，板縫打密封膠，所有陰陽角 R50 圓弧過渡，消除積塵死角2、地面- 高潔凈生產區：防靜電環氧自流平，表面電阻 10??10?Ω；精密設備可采用防靜電高架地板- 清洗間、濕法區域：地面坡度 1.5%?2%，齊平式密閉潔凈地漏，無積水殘留3、門窗：氣密潔凈門、雙層中空固定觀察窗，門扇加裝密封條、升降掃地條，保證整體氣密性4、管線穿墻吊頂加裝套管，縫隙防火密封膠封堵，杜絕漏風漏塵

四、暖通凈化 & 氣流組織

1、高潔凈工位垂直層流 FFU 系統，三級過濾 G4+F8+H13 超高效過濾器2、獨立新風、回風、排風系統，更衣風淋緩沖廊道設置獨立回排風，減少開門擾動對工藝區層流沖擊3、精準壓差自動控制系統，實時監控房間壓差

五、四大環境專項控制（CAM 車間核心）

1、顆粒管控：分級凈化、密閉圍護、人員物料緩沖、減少車間內部產塵2、微震動防控：光刻、鍵合、探針設備配置獨立防震基座；風機水泵空壓機遠離精密工藝區，隔斷結構震動傳遞3、恒溫恒濕：常規 22±2℃、濕度 40%?60% RH；光刻精密工序縮小溫濕度波動范圍，避免基板形變、光刻膠工藝異常4、全域防靜電：防靜電地坪、完整接地系統、防靜電工裝，關鍵點位配置離子風機，防止靜電擊穿元器件、靜電吸附粉塵

六、電氣、消防配套

1、潔凈嵌入式 LED 防塵燈具，生產工作面照度≥300lx，檢測區域≥500lx2、精密儀器與普通插座配電回路分開，獨立接地3、潔凈區隱蔽式消防噴淋、煙感，風管防火閥，滿足電子潔凈廠房消防規范

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