

原理:氣流方向統一、平行,自上而下垂直推送,像活塞一樣直接把顆粒推走,污染快速排出,不容易形成渦流死角適用潔凈等級:ISO?4、ISO?5(百級)
適合車間 / 工序1、CAM 光刻區、芯片勻膠曝光工位2、醫藥無菌灌裝、敞口無菌操作區3、干細胞核心制備操作臺4、光學、半導體高精度貼合鍵合工位5、對浮塵極其敏感、產品裸露不能落塵的區域
垂直層流:吊頂滿布 FFU/ULPA 高效過濾器,高架地板或者下部回風水平層流:狹長高潔凈流水線,用得比較少
缺點:造價高、層高要求高、能耗大、吊頂荷載高
原理:多個送風口送入潔凈空氣,和室內空氣充分混合、稀釋污染物,再從回風口排走,依靠換氣次數控制顆粒濃度適用潔凈等級:ISO?6、ISO?7、ISO?8(千級、萬級、十萬級)
適合車間 / 工序1、封裝組裝、成品探針測試、普通模組裝配2、更衣、風淋、緩沖廊道、物料暫存間3、日化配制、灌裝后段、外包裝潔凈區4、理化實驗室、普通質檢間、清洗間5、大部分中低等級生產輔助潔凈房間
優點:造價適中、改造靈活,適合大面積車間
車間大空間整體采用亂流(ISO?7/8),關鍵工位上方加裝 FFU 局部垂直層流,局部達到 ISO?5 百級。CAM 車間非常推薦:整個封裝房間萬級亂流,光刻、精密鍵合工位做ju部層流,平衡成本和潔凈指標。
ISO5 及以上高精密敞口工藝 → 層流單向流
ISO6?8 常規生產、輔助區 → 亂流非單向流- 大面積車間,只有少數工位要求百級 → 整體亂流 + 局部層流






